Nous fournissons des solutions magnétiques avancées pour l'industrie des semi-conducteurs, du traitement des plaquettes à l'emballage et aux tests/mesures.
Nos technologies propriétaires prennent en charge Transitions de plaquettes de 300 mm, métallisation complexe et alignement précis des couches minces magnétiques—essentiel pour Développement de la M-RAMNous permettons étanchéité ferrofluidique, améliorer efficacité de pulvérisation avec des conceptions de magnétron brevetées et optimisez alignement de couches minces utilisant des cadres magnétiques et des dipôles spécialisés. Dexter collabore avec EEC pour s'approvisionner matériaux magnétiques personnalisés pour semi-conducteurs outils nécessitant des tolérances serrées et une compatibilité avec le vide.
Pour Packaging, nous offrons moteurs hautes performances pour le câblage par fils et accouplements de couple pour systèmes à vide. Notre solutions permanentes et électromagnétiques supporte également équipement d'inspection et de test de plaquettes.
Le dépôt physique en phase vapeur
Les éléments magnétiques sont essentiels dans les magnétrons de pulvérisation cathodique et Manipulation des plaquettes
Les solutions de Dexter :
- Aimants à haute résistance pour cibles de pulvérisation afin d'améliorer taux de dépôt et uniformité.
- Systèmes de contrôle du champ magnétique pour améliorer la qualité du film et uniformité de l'épaisseur.
- Conception de magnétron pour une utilisation élevée de la cible
- Répétable – Systèmes de qualité qui prennent en charge la « copie exacte »
- Assemblage et emballage propres
- Rotors magnétiques et accouplements pour la manipulation de plaquettes sous vide
Dépôt chimique en phase vapeur
Les aimants sont utilisés pour les procédés chimiques à couplage inductif et à plasma amélioré. Dépôt en phase vapeur et manipulation de plaquettes
Les solutions de Dexter :
- Systèmes de confinement magnétique pour la génération et le contrôle du plasma pendant Procédés CVD.
- Systèmes de mélange à entraînement magnétique pour améliorer le flux de gaz et de réactif répartition dans la chambre de dépôt.
- Accouplements magnétiques pour la manipulation de plaquettes sous vide
Gravure
Ensembles magnétiques pour le contrôle et le confinement du plasma et Manipulation des plaquettes
Les solutions de Dexter :
- Solutions permanentes et électromagnétiques
- Fermeture hermétique pour le vide
Lithographie
Ensembles magnétiques pour moteurs à faible inertie et réseaux de moteurs linéaires, systèmes pas à pas à réticule et à plaquette, et mélange de gaz dans les lasers à excimères
Les solutions de Dexter :
- Étanchéité hermétique pour les environnements sous vide et sous hydrogène
- Ensembles magnétiques pour étages de lévitation pour soutenir et positionner les photomasques avec une grande précision
- Ensembles de rotors à gaine ou accouplements magnétiques pour les sources de lumière laser excimère
Implant ionique
Les aimants permanents sont utilisés dans les Faradays à drapeau, les électroaimants sont composants clés pour la focalisation et la courbure du faisceau
Les solutions de Dexter :
- Analyseurs de masse magnétique pour systèmes de lignes de faisceaux pour sélectionner et contrôler énergies des ions.
- Déflecteurs de faisceau magnétique pour diriger les faisceaux d'ions avec précision sur la cible zones de plaquettes de semi-conducteurs.
Essais et métrologie
Les aimants permanents, les électroaimants et les aimants hybrides sont couramment utilisés pour Lentille magnétique du microscope électronique à balayage (MEB).
Les solutions de Dexter :
- Lentilles électromagnétiques pour systèmes de lithographie par faisceau d'électrons, permettant une mise au point et une imagerie précises.
- Générateurs de champ magnétique pour effet Kerr magnéto-optique (MOKE) mesures pour étudier les propriétés magnétiques des matériaux.
- Systèmes d'imagerie par résonance magnétique (IRM) pour les contrôles non destructifs des structures et matériaux semi-conducteurs.
Support d'enregistrement
- Magnétrons
- Outils d'effacement en masse-
- Outils d'effacement de disque
Têtes d'enregistrement
- Magnétrons
- Aimants polarisés pour plaquettes
- Initialisation de la plaquette
- Chefs Setters HGA
- Aimants de placage de plaquettes
Technologies magnétiques supplémentaires
- Couplages magnétiques – Manipulation des plaquettes
- Aimants hermétiquement scellés pour moteurs rotatifs et linéaires
- Capteurs magnétiques
- Pression de vide
- Spectromètres de masse