Unverzichtbare Werkzeuge in der Halbleiterfertigung – Restgasanalysatoren (RGAs) und Lecksucher
Halbleitermesstechnik-Serie – 3 Restgasanalysatoren (RGAs) und Lecksucher sind unverzichtbare Werkzeuge in der Halbleiterfertigung, wo Vakuumintegrität und Kontaminationskontrolle für die Herstellung hochleistungsfähiger Bauelemente unerlässlich sind. Wichtige Anwendungen: RGAs überwachen die Zusammensetzung und Konzentration von Restgasen in Vakuumkammern. Diese Analysatoren sind entscheidend für die Erkennung von Spurenverunreinigungen, die Überwachung von Ausgasungen usw.
