Wij leveren geavanceerde magnetische oplossingen voor de halfgeleiderindustrie, van waferverwerking tot verpakking en testen/meten.
Onze gepatenteerde technologieën ondersteunen 300mm wafer-overgangen, complexe metallisatie en nauwkeurige magnetische dunnefilm-uitlijning—cruciaal voor M-RAM-ontwikkeling. Wij maken het mogelijk ferrofluïdische afdichting, verbeteren sputterrendement met gepatenteerde magnetronontwerpen en optimaliseren dunne film uitlijning met behulp van gespecialiseerde magnetische frames en dipolen. Dexter werkt samen met EEC om aangepaste magneetmaterialen voor halfgeleiders gereedschappen die nauwe toleranties en vacuümcompatibiliteit vereisen.
Bij verpakkingwij bieden Hoogwaardige motoren voor draadverbindingen en koppelkoppelingen voor vacuümsystemen. Onze permanente en elektromagnetische oplossingen ook ondersteuning Waferinspectie- en testapparatuur.
Fysieke damp depositie
Magnetisch is van cruciaal belang bij sputtermagnetrons en Behandeling van wafels
Dexter's oplossingen:
- Hoge sterkte magneten voor sputterdoelen om de prestaties te verbeteren afzettingssnelheden en uniformiteit.
- Magnetische veldcontrolesystemen om de filmkwaliteit te verbeteren en uniformiteit van de dikte.
- Magnetronontwerp voor hoog doelgebruik
- Herhaalbaar – Kwaliteitssystemen die “Copy Exact” ondersteunen
- Schone montage en verpakking
- Magnetische rotoren en koppelingen voor vacuümwaferbehandeling
Chemische dampafzetting
Magneten worden gebruikt voor inductief gekoppelde, plasmaverbeterde chemische Dampdepositie en waferbehandeling
Dexter's oplossingen:
- Magnetische opsluitingssystemen voor plasmageneratie en -controle tijdens CVD-processen.
- Magnetisch aangedreven mengsystemen om de gasstroom en reactanten te verbeteren verdeling binnen de afzettingskamer.
- Magnetische koppelingen voor vacuümwafer-hantering
Glasets
Magnetische assemblages voor plasmacontrole en -opsluiting en Behandeling van wafels
Dexter's oplossingen:
- Permanente en elektromagnetische oplossingen
- Hermetische afdichting voor vacuüm
Lithografie
Magnetische assemblages voor movers met lage inertie en lineaire motorreeksen, reticle- en wafer-steppersystemen en gasmenging in excimerlasers
Dexter's oplossingen:
- Hermetische afdichting voor vacuüm- en waterstofomgevingen
- Magnetische samenstellingen voor levitatieplatforms ter ondersteuning en positie fotomaskers met hoge nauwkeurigheid
- Ingeblikte rotorassemblages of magnetische koppelingen voor excimerlaserlichtbronnen
Ionenimplantaat
Permanente magneten worden gebruikt in Flag Faradays, elektromagneten worden gebruikt Belangrijkste componenten voor bundelfocussing en bundelbuiging
Dexter's oplossingen:
- Magnetische massa-analysatoren voor beamlinesystemen voor het selecteren en regelen ionenenergieën.
- Magnetische straalafbuigers om ionenstralen nauwkeurig op het doel te richten gebieden van halfgeleiderwafels.
Testen en metrologie
Permanente magneten, elektromagneten en hybride magneten worden veel gebruikt voor Magnetische lens van een scanning elektronenmicroscoop (SEM).
Dexter's oplossingen:
- Elektromagnetische lenzen voor elektronenbundellithografiesystemen, waardoor nauwkeurige scherpstelling en beeldvorming mogelijk is.
- Magnetische veldgeneratoren voor magneto-optisch Kerr-effect (MOKE) metingen om de magnetische eigenschappen van materialen te bestuderen.
- Magnetic resonance imaging (MRI)-systemen voor niet-destructief onderzoek van halfgeleiderstructuren en -materialen.
Opnamemedia
- Magnetrons
- Hulpmiddelen voor bulksgewijs wissen -
- Hulpprogramma's voor het wissen van schijven
Opnamekoppen
- Magnetrons
- Wafer bias-magneten-
- Wafer-initialisatie
- HGA-headsetters
- Magneten voor het plateren van wafels
Aanvullende magnetische technologieën
- Magnetische koppelingen – behandeling van wafers
- Hermetisch afgesloten magneten voor roterende en lineaire motoren
- Magnetische sensoren
- Vacuümdruk
- Massaspectrometers