我们为半导体行业提供先进的磁性解决方案，从晶圆加工到封装和测试/测量。
我们专有的技术支持300 毫米晶圆过渡、复杂金属化和精确的磁性薄膜对准——这对M-RAM 的开发至关重要。我们实现铁磁流体密封，利用专利磁控管设计提高溅射效率，并利用专用磁框架和偶极子优化薄膜对准。Dexter 与 EEC 合作，为需要严格公差和真空兼容性的半导体设备提供定制磁性材料。
在封装领域，我们提供用于引线键合的高性能电机和用于真空系统的扭矩联轴器。我们的永磁和电磁解决方案也为晶圆检测和测试设备提供支持。
物理气相沉积
磁性在溅射磁控管和晶圆处理中至关重要。
Dexter 的解决方案：
- 高强度磁铁用于溅射靶材以提高 沉积速率和均匀性。
- 磁场控制系统可提高薄膜质量和 厚度均匀性。
- 磁控管设计，提高靶材利用率
- 可重复——支持“精确复制”的质量体系
- 清洁组装和包装
- 用于真空晶圆处理的磁转子和联轴器
化学气相沉积
磁体用于感应耦合等离子体增强化学气相沉积和晶圆处理。
Dexter 的解决方案：
- 用于等离子体产生和控制的磁约束系统 CVD 过程。
- 磁力驱动混合系统可改善气体流动和反应物 沉积室内的分布。
- 用于真空晶圆处理的磁力耦合器
蚀刻
用于等离子体控制和约束的磁性组件以及晶圆处理
Dexter 的解决方案：
- 永磁体和电磁铁解决方案
- 真空密封
光刻
用于低惯性移动器和线性电机阵列、光罩和晶圆步进系统的磁性组件，以及准分子激光器中的气体混合
Dexter 的解决方案：
- 真空和氢气环境的密封
- 悬浮台磁性组件用于支撑和 高精度定位光掩模
- 封闭式转子组件或磁力联轴器 用于准分子激光光源
离子注入
旗形法拉第线圈中使用永磁体，电磁铁是光束聚焦和光束弯曲的关键部件。
Dexter 的解决方案：
- 用于光束线系统的磁性质量分析仪的选择和控制 离子能量。
- 磁束偏转器可将离子束精确引导至目标 半导体晶圆的区域。
测试与计量
扫描电子显微镜（SEM）磁透镜通常使用永磁体、电磁铁和混合磁体。
Dexter 的解决方案：
- 用于电子束光刻系统的电磁透镜， 实现精确聚焦和成像。
- 磁光克尔效应 (MOKE) 磁场发生器 测量来研究材料的磁性。
- 用于无损检测的磁共振成像 (MRI) 系统 半导体结构和材料。
记录媒体
- 磁控管
- 批量删除工具-
- 磁盘擦除工具
录音磁头
- 磁控管
- 晶圆偏置磁铁-
- 晶圆初始化
- HGA 头部调整器
- 晶圆电镀磁铁
其他磁性技术
- 磁耦合器 – 晶圆处理
- 用于旋转和直线电机的密封磁铁
- 磁性传感器
- 真空压力
- 质谱仪